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Langmuir probe studies of a helicon plasma system
Veröffentlicht in Plasma sources science & technology
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Morphology of Si(100) surfaces exposed to a remote H plasma
Veröffentlicht in Applied physics letters
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In situ remote H-plasma cleaning of patterned Si-SiO2 surfaces
Veröffentlicht in Journal of the Electrochemical Society
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Surface electronic states of low-temperature H-plasma cleaned Si(100)
Veröffentlicht in Applied physics letters
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