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    About the Data Analysis of Optical Emission Spectra of Reactive Ion Etching Processes—The Method of Spectral Redundancy Reduction

    About the Data Analysis of Optical Emission Spectra of Reactive Ion Etching Processes—The Method of Spectral Redundancy Reduction von Haase, Micha, Sayyed, Mudassir Ali, Langer, Jan, Reuter, Danny, Kuhn, Harald

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