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A statistical analysis of single and multiple response surface modeling
von
Smith, T.H.
,
Goodlin, B.E.
,
Boning, D.S.
,
Sawin, H.H.
Veröffentlicht in
IEEE transactions on semiconductor manufacturing
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Patterning with Amorphous Carbon Thin Films
von
Antonelli, George A.
,
Reddy, Sirish
,
Subramonium, Pramod
,
Henri, Jon
,
Sims, Jim
,
O'loughlin, Jennifer
,
Shamma, Nader
,
Schlosser, Don
,
Mountsier, Tom
,
Guo, Wei
,
Sawin, Herb
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Patterning with Amorphous Carbon Thin Films
von
Antonelli, George A.
,
Reddy, Sirish
,
Subramonium, Pramod
,
Henri, Jon
,
Sims, Jim
,
O'loughlin, Jennifer
,
Shamma, Nader
,
Schloser, Don
,
Mountsier, Tom
,
Guo, Wei
,
Sawin, Herb
Veröffentlicht in
Meeting abstracts (Electrochemical Society)
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Institute Of Physics Open Access Journal Titles
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