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Positive pulse bias method for a high-throughput PBII processing system
Veröffentlicht in Surface & coatings technology
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Ion Energy Spectra in Pulse-Modulated Mixture Plasma
Veröffentlicht in Meeting Abstracts of the Physical Society of Japan
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29a-YF-6 Potential Structure in Diode Discharges
Veröffentlicht in Meeting Abstracts of the Physical Society of Japan
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