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Double-layered vertically integrated amorphous-In2Ga2ZnO7 thin-film transistor
Veröffentlicht in Applied physics letters
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High rate dry etching of InGaZnO by BCl 3 /O 2 plasma
Veröffentlicht in Applied physics letters
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High rate dry etching of InGaZnO by BCl3/O2 plasma
Veröffentlicht in Applied physics letters
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