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Minimizing permeability of PET substrates using Oxygen plasma treatment
Veröffentlicht in Applied surface science
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Deep micro-machining of poly-ethylene terephthalate for plastic MEMS applications
Veröffentlicht in Solid-state electronics
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Improved impermeability of PET substrates using oxygen and hydrogen plasma
Veröffentlicht in Vacuum
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Ultrafine hollow needle formation on silicon
Veröffentlicht in Journal of applied physics
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