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    (Invited) Plasma Enhanced Atomic Layer Deposited Ruthenium for MIMCAP Applications

    (Invited) Plasma Enhanced Atomic Layer Deposited Ruthenium for MIMCAP Applications von Swerts, Johan, Salimullah, M.M., Popovici, M., Kim, M.-S., Pawlak, M.A., Delabie, Annelies, Schaekers, M., Tomida, K., Kaczer, B., Opsomer, K., Vrancken, C., Debusschere, I, Altimime, L., Kittl, J.A., Van Elshocht, Sven


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    Plasma Enhanced Atomic Layer Deposited Ru for MIMCAP Applications

    Plasma Enhanced Atomic Layer Deposited Ru for MIMCAP Applications von Swerts, Johan, Salimullah, M.M., Popovici, M., Kim, M.-S., Pawlak, M.A., Delabie, A., Schaekers, M., Tomida, K., Kaczer, B., Opsomer, K., Vrancken, C., Debusschere, I, Altimime, L., Kittl, J.A., Van Elshocht, S.


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