Suchergebnisse - Saarilahti, Jaakko

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Implementing ALD Layers in MEMS Processing von Puurunen, Riikka L., Saarilahti, Jaakko, Kattelus, Hannu

Veröffentlicht in ECS transactions

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Properties of nanocrystalline silicon probed by optomechanics von Navarro-Urrios, Daniel, Colombano, Martín F., Maire, Jeremie, Chávez-Ángel, Emigdio, Arregui, Guillermo, Capuj, Néstor E., Devos, Arnaud, Griol, Amadeu, Bellieres, Laurent, Martínez, Alejandro, Grigoras, Kestutis, Häkkinen, Teija, Saarilahti, Jaakko, Makkonen, Tapani, Sotomayor-Torres, Clivia M., Ahopelto, Jouni

Veröffentlicht in Nanophotonics (Berlin, Germany)

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3

Ultra-High Sensitivity Surface-Micromachined Capacitive Differential Pressure Sensor for Low-Pressure Applications von Pernu, Tapio, Saarilahti, Jaakko, Kyynarainen, Jukka, Sillanpaa, Teuvo

Veröffentlicht in Journal of microelectromechanical systems

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Integrated Radiometer at 240 GHz With SiGe MMIC Detector and GRIN Silicon Lens von Pursula, Pekka, Lamminen, Antti, Forsten, Henrik, Sipola, Hannu, Tappura, Kirsi, Saarilahti, Jaakko, Varonen, Mikko, Ermolov, Vladimir, Kantanen, Mikko

Veröffentlicht in IEEE transactions on microwave theory and techniques

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5

Micromachining integration platform for sub-terahertz and terahertz systems von Ermolov, Vladimir, Lamminen, Antti, Saarilahti, Jaakko, Wälchli, Ben, Kantanen, Mikko, Pursula, Pekka

Veröffentlicht in International journal of microwave and wireless technologies

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Wafer Level Integration of Sub-THz and THz Systems von Ermolov, Vladimir, Lamminen, Antti, Saarilahti, Jaakko, Varonen, Mikko, Kantanen, Mikko, Lahti, Markku, Pursula, Pekka

Veröffentlicht in IEEE microwave and wireless technology letters (Print)

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7

A 3D micromechanical compass von Kyynäräinen, Jukka, Saarilahti, Jaakko, Kattelus, Hannu, Kärkkäinen, Anu, Meinander, Tor, Oja, Aarne, Pekko, Panu, Seppä, Heikki, Suhonen, Mika, Kuisma, Heikki, Ruotsalainen, Sami, Tilli, Markku

Veröffentlicht in Sensors and actuators. A. Physical.

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New MEMS Pressure Sensor Element and Concept for Coronary Catheter von Kärkkäinen, Anu, Saarilahti, Jaakko, Kyynäräinen, Jukka, Kuisma, Heikki

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Properties of Nanocrystalline Silicon Probed by Optomechanics von Navarro Urrios, Daniel, Colombano, Martín F, Maire, Jérémie, Chavez Ángel, Emigdio, Arregui, Guillermo, Capuj, Néstor E, Devos, Arnaud, Griol, Amadeu, Bellieres, Laurent, Martínez, Alejandro, Grigoras, Kestutis, Häkkinen, Teija, Saarilahti, Jaakko, Makkonen, Tapani, Sotomayor Torres, Clivia M, Ahopelto, Jouni

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Surface micromechanical element and method for manufacturing the same von Oja, Aarne, Saarilahti, Jaakko

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Rutherford backscattering and kinetics study of the photo-induced solid state chemical reaction between silver and amorphous As33S67 layers von Wagner, Tomáš, Peřina, Vratislav, Vlček, Miroslav, Frumar, Miloslav, Rauhala, Eero, Saarilahti, Jaakko, Ewen, Peter J.S.

Veröffentlicht in Journal of non-crystalline solids

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Capacitive microphone with low-stress polysilicon membrane and high-stress polysilicon backplate von Torkkeli, Altti, Rusanen, Outi, Saarilahti, Jaakko, Seppä, Heikki, Sipola, Hannu, Hietanen, Jarmo

Veröffentlicht in Sensors and actuators. A, Physical

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Surface micromechanical element and method for manufacturing the same von Oja, Aarne, Saarilahti, Jaakko

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Surface micromechanical element and method for manufacturing the same von Oja, Aarne, Saarilahti, Jaakko

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PRESSURE SENSOR von PERNU, Tapio, SAARILAHTI, Jaakko, KYYNÄRÄINEN, Jukka

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Microelectromechanical capacitive pressure sensor having a valve portion being operable to close first output and open second output to equalize pressure von Pernu, Tapio, Kyynäräinen, Jukka, Saarilahti, Jaakko

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MECHANICALLY DECOUPLED SURFACE MICROMECHANICAL ELEMENT AND METHOD FOR MANUFACTURING THE SAME von SAARILAHTI, Jaakko, OJA, Aarne

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SURFACE MICROMECHANICAL PRESSURE SENSOR AND METHOD FOR MANUFACTURING THE SAME von SAARILAHTI, JAAKKO

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Surface micromechanical element and method for manufacturing the same von Oja, Aarne, Saarilahti, Jaakko

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MECHANICALLY DECOUPLED SURFACE MICROMECHANICAL ELEMENT AND METHOD FOR MANUFACTURING THE SAME von SAARILAHTI, Jaakko, OJA, Aarne

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Ultra-High Sensitivity Surface-Micromachined Capacitive Differential Pressure Sensor for Low-Pressure Applications von Pernu, Tapio, Saarilahti, Jaakko, Kyynarainen, Jukka, Sillanpaa, Teuvo

Integrated Radiometer at 240 GHz With SiGe MMIC Detector and GRIN Silicon Lens von Pursula, Pekka, Lamminen, Antti, Forsten, Henrik, Sipola, Hannu, Tappura, Kirsi, Saarilahti, Jaakko, Varonen, Mikko, Ermolov, Vladimir, Kantanen, Mikko

Micromachining integration platform for sub-terahertz and terahertz systems von Ermolov, Vladimir, Lamminen, Antti, Saarilahti, Jaakko, Wälchli, Ben, Kantanen, Mikko, Pursula, Pekka

Wafer Level Integration of Sub-THz and THz Systems von Ermolov, Vladimir, Lamminen, Antti, Saarilahti, Jaakko, Varonen, Mikko, Kantanen, Mikko, Lahti, Markku, Pursula, Pekka

A 3D micromechanical compass von Kyynäräinen, Jukka, Saarilahti, Jaakko, Kattelus, Hannu, Kärkkäinen, Anu, Meinander, Tor, Oja, Aarne, Pekko, Panu, Seppä, Heikki, Suhonen, Mika, Kuisma, Heikki, Ruotsalainen, Sami, Tilli, Markku

New MEMS Pressure Sensor Element and Concept for Coronary Catheter von Kärkkäinen, Anu, Saarilahti, Jaakko, Kyynäräinen, Jukka, Kuisma, Heikki

Surface micromechanical element and method for manufacturing the same von Oja, Aarne, Saarilahti, Jaakko

Rutherford backscattering and kinetics study of the photo-induced solid state chemical reaction between silver and amorphous As33S67 layers von Wagner, Tomáš, Peřina, Vratislav, Vlček, Miroslav, Frumar, Miloslav, Rauhala, Eero, Saarilahti, Jaakko, Ewen, Peter J.S.

Capacitive microphone with low-stress polysilicon membrane and high-stress polysilicon backplate von Torkkeli, Altti, Rusanen, Outi, Saarilahti, Jaakko, Seppä, Heikki, Sipola, Hannu, Hietanen, Jarmo

Surface micromechanical element and method for manufacturing the same von Oja, Aarne, Saarilahti, Jaakko

Surface micromechanical element and method for manufacturing the same von Oja, Aarne, Saarilahti, Jaakko

PRESSURE SENSOR von PERNU, Tapio, SAARILAHTI, Jaakko, KYYNÄRÄINEN, Jukka

Microelectromechanical capacitive pressure sensor having a valve portion being operable to close first output and open second output to equalize pressure von Pernu, Tapio, Kyynäräinen, Jukka, Saarilahti, Jaakko

MECHANICALLY DECOUPLED SURFACE MICROMECHANICAL ELEMENT AND METHOD FOR MANUFACTURING THE SAME von SAARILAHTI, Jaakko, OJA, Aarne

SURFACE MICROMECHANICAL PRESSURE SENSOR AND METHOD FOR MANUFACTURING THE SAME von SAARILAHTI, JAAKKO

Surface micromechanical element and method for manufacturing the same von Oja, Aarne, Saarilahti, Jaakko

MECHANICALLY DECOUPLED SURFACE MICROMECHANICAL ELEMENT AND METHOD FOR MANUFACTURING THE SAME von SAARILAHTI, Jaakko, OJA, Aarne

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