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LOAD LOCK ARRANGEMENTS, ASSOCIATED TEMPERATURE CONTROL ASSEMBLIES, AND SEMICONDUCTOR PROCESSING SYSTEMS INCLUDING LOAD LOCK ARRANGEMENTS AND TEMPERATURE CONTROL ASSEMBLIES
von
SUWADA MASAE
,
OKABE TAIRA
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2
INTERFACE MODULE HAVING FAN FILTER UNIT
von
NAKANO MASASHI
,
SUWADA MASAE
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3
SUBSTRATE TRANSFER SYSTEM WITH LAMP HEATER, AND CHAMBER PURGE METHOD
von
SUWADA MASAE
,
KOBAYASHI WATARU
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4
SEMICONDUCTOR PROCESSING APPARATUS PROVIDED WITH POSITION DETECTOR FOR SUBSTRATE TRANSFER ROBOT, AND METHOD THEREOF
von
SUWADA MASAE
,
TAKIZAWA MASAHIRO
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5
WAFER PROCESSING APPARATUS WITH WAFER ALIGNMENT DEVICE
von
AKAGAWA MASAYUKI
,
SUWADA MASAE
,
TAKIZAWA MASAHIRO
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6
CLUSTER TYPE SEMICONDUCTOR PROCESSING APPARATUS
von
SUWADA MASAE
,
TAKIZAWA MASAHIRO
,
HAGINO TAKASHI
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7
GAS LINE SYSTEM FOR SEMICONDUCTOR MANUFACTURING APPARATUS
von
YAMAGISHI TAKAYUKI
,
SUWADA MASAE
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8
SUBSTRATE TRANSFER APPARATUS AND SEMICONDUCTOR SUBSTRATE MANUFACTURING APPARATUS MOUNTED WITH THE SAME
von
WADA TAKASHI
,
SUWADA MASAE
,
TAKIZAWA MASAHIRO
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9
SEMICONDUCTOR MANUFACTURING APPARATUS AND MAINTENANCE METHOD
von
WATABE TSUYOSHI
,
YAMAGISHI TAKAYUKI
,
SUWADA MASAE
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10
SEMICONDUCTOR TREATMENT APPARATUS COMPRISING CHAMBER PARTITIONED TO REACTION AND TRANSFER BLOCKS
von
WATABE TSUYOSHI
,
YAMAGISHI TAKAYUKI
,
SUWADA MASAE
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11
DEVICE AND METHOD FOR PRE-BAKING BOARD UPSTREAM OF PROCESSING CHAMBER
von
SATO HIROYUKI
,
OKUBO KENKICHI
,
KAMATA KEISUKE
,
SUWADA MASAE
,
ARAI IZUMI
,
FURUKAWARA KAZUAKI
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12
MANUFACTURING METHOD OF SEMICONDUCTOR
von
WATABE TSUYOSHI
,
YAMAGISHI TAKAYUKI
,
SUWADA MASAE
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13
DEVICE AND METHOD FOR TEACHING WAFER HANDLING ROBOT
von
WATABE TSUYOSHI
,
YAMAGISHI TAKAYUKI
,
SUWADA MASAE
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14
SUBSTRATE SUPPORT PLATE FOR SEMICONDUCTOR MANUFACTURING APPARATUS
von
WATABE TSUYOSHI
,
YAMAGISHI TAKAYUKI
,
SUWADA MASAE
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Patent
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15
WAFER CARRYING MECHANISM
von
YAMAGISHI TAKAYUKI
,
SUWADA MASAE
,
FURUKAWARA KAZUAKI
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Patent
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