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Silicon-based field-effect-transistor cantilever for surface potential mapping
Veröffentlicht in Applied physics letters
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Surface potential mapping in the SiO2 system using a FET cantilever
Veröffentlicht in Current applied physics
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Thermal Oxynitridation of Silicon in N 2 O Ambients
Veröffentlicht in Journal of the Electrochemical Society
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Growth law of silicon oxides by dry oxidation
Veröffentlicht in Semiconductor science and technology
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Thermal oxynitridation of silicon in N2O ambients
Veröffentlicht in Journal of the Electrochemical Society
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