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Improvement of Piezoelectric Properties of (K,Na)NbO3 Films Deposited by Sputtering
Veröffentlicht in Jpn J Appl Phys
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Dry Etching of Lead-Free (K,Na)NbO3 Piezoelectric Films by Ar/C4F8 Plasma
Veröffentlicht in Jpn J Appl Phys
VolltextArtikel -
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