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Characterization of low-pressure microwave and radio frequency discharges in oxygen applying optical emission spectroscopy and multipole resonance probe
von
Steves, Simon
,
Styrnoll, Tim
,
Mitschker, Felix
,
Bienholz, Stefan
,
Nikita, Bibinov
,
Awakowicz, Peter
Veröffentlicht in
Journal of physics. D, Applied physics
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The multipole resonance probe: Evolution of a plasma sensor
von
Schulz, Christian
,
Rolfes, Ilona
,
Styrnoll, Tim
,
Awakowicz, Peter
,
Oberrath, Jens
,
Mussenbrock, Thomas
,
Brinkmann, Ralf Peter
,
Storch, Robert
,
Musch, Thomas
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Tagungsbericht
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3
The multipole resonance probe: Investigation of an active plasma resonance probe using 3D-electromagnetic field simulations
von
Schulz, C.
,
Rolfes, I.
,
Styrnoll, T.
,
Awakowicz, P.
,
Lapke, M.
,
Oberrath, J.
,
Mussenbrock, T.
,
Brinkmann, R. P.
,
Storch, R.
,
Musch, T.
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Tagungsbericht
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Device and use of the device for measuring the density and/or the electron temperature and/or the collision frequency of a plasma
von
AWAKOWICZ PETER
,
MUSCH THOMAS
,
MUSSENBROCK THOMAS
,
SCHULZ CHRISTIAN
,
ZIETZ CHRISTIAN
,
OBERRATH JENS
,
ROLFES ILONA
,
LAPKE MARTIN
,
STORCH ROBERT
,
STYRNOLL TIM
,
BRINKMANN RALF PETER
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Patent
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5
Die Multipolresonanzsonde :vom Demonstrator zur industrietauglichen Plasmadiagnostik
von
Styrnoll, Tim
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DEVICE AND USE OF THE DEVICE FOR MEASURING THE DENSITY AND/OR THE ELECTRON TEMPERATURE AND/OR THE COLLISION FREQUENCY OF A PLASMA
von
AWAKOWICZ PETER
,
MUSCH THOMAS
,
MUSSENBROCK THOMAS
,
SCHULZ CHRISTIAN
,
ZIETZ CHRISTIAN
,
OBERRATH JENS
,
ROLFES ILONA
,
LAPKE MARTIN
,
STORCH ROBERT
,
STYRNOLL TIM
,
BRINKMANN RALF PETER
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Patent
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DEVICE AND USE OF THE DEVICE FOR MEASURING THE DENSITY AND/OR THE ELECTRON TEMPERATURE AND/OR THE COLLISION FREQUENCY OF A PLASMA
von
MUSCH, THOMAS
,
LAPKE, MARTIN
,
ROLFES, ILONA
,
OBERRATH, JENS
,
AWAKOWICZ, PETER
,
STYRNOLL, TIM
,
STORCH, ROBERT
,
SCHULZ, CHRISTIAN
,
ZIETZ, CHRISTIAN
,
BRINKMANN, RALF, PETER
,
MUSSENBROCK, THOMAS
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Patent
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DEVICE AND USE OF THE DEVICE FOR MEASURING THE DENSITY AND/OR THE ELECTRON TEMPERATURE AND/OR THE COLLISION FREQUENCY OF A PLASMA
von
MUSCH, THOMAS
,
LAPKE, MARTIN
,
ROLFES, ILONA
,
OBERRATH, JENS
,
AWAKOWICZ, PETER
,
STYRNOLL, TIM
,
STORCH, ROBERT
,
SCHULZ, CHRISTIAN
,
ZIETZ, CHRISTIAN
,
BRINKMANN, RALF, PETER
,
MUSSENBROCK, THOMAS
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Ieee Electronic Library (Iel) Conference Proceedings
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Ieee Electronic Library (Iel)
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