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Dyed positive photoresist employing curcumin for notching control
von
RENSCHLER, C. L
,
LEMEN, E. K
,
RODRIQUEZ, J. L
,
STIEFELD, R. E
Veröffentlicht in
Journal of the Electrochemical Society
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Curcumin as a positive resist dye optimized for g- and h-line exposure
von
RENSCHLER, C. L
,
STIEFELD, R. E
,
RODRIQUEZ, J. L
Veröffentlicht in
Journal of the Electrochemical Society
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