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REINFORCED POLISHING PAD WITH A SHAPED OR FLEXIBLE WINDOW STRUCTURE
von
KANG JIA
,
MICHAEL DAVID STEIMAN
,
CHRISTIAN DAVID FREDERICKSON
,
HERBERT ELLIOT LITVAK
,
EUGENE Y. ZHAO
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2
Reinforced polishing pad with a shaped or flexible window structure
von
LITVAK HERBERT ELLIOT,STEIMAN MICHAEL DAVID,ZHAO EUGENE Y.,JIA KANG,FREDERICKSON CHRISTIAN DAVID
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3
REINFORCED POLISHING PAD WITH A SHAPED OR FLEXIBLE WINDOW STRUCTURE
von
ZHAO, EUGENE, Y
,
LITVAK, HERBERT, ELLIOT
,
JIA, KANG
,
FREDERICKSON, CHRISTIAN, DAVID
,
STEIMAN, MICHAEL, DAVID
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Patent
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4
Apparatus for accurate endpoint detection in supported polishing pads
von
Zhao, Eugene Y
,
Jia, Kang
,
Steiman, Michael David
,
Litvak, Herbert Elliot
,
Frederickson, Christian David
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Patent
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5
Apparatus for accurate endpoint detection in supported polishing pads
von
FREDERICKSON CHRISTIAN DAVID
,
ZHAO EUGENE Y
,
STEIMAN MICHAEL DAVID
,
LITVAK HERBERT ELLIOT
,
JIA KANG
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Patent
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6
Optical window structure
von
ZHAO, EUGENE Y
,
LITVAK, HERBERT ELLIOT
,
FREDERICKSON, CHRISTIAN DAVID
,
JIA, KANG
,
STEIMAN, MICHAEL DAVID
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Patent
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7
REINFORCED POLISHING PAD WITH A SHAPED OR FLEXIBLE WINDOW STRUCTURE
von
ZHAO, EUGENE, Y
,
LITVAK, HERBERT, ELLIOT
,
JIA, KANG
,
FREDERICKSON, CHRISTIAN, DAVID
,
STEIMAN, MICHAEL, DAVID
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Patent
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