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A monolithic MEMS position sensor for closed-loop high-speed atomic force microscopy
Veröffentlicht in Nanotechnology
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Contact Mode MEMS Position Sensors with Piezoresistive Detection
Veröffentlicht in Procedia engineering
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Investigation of arsenic-implanted silicon by optical reflectometry
Veröffentlicht in Vacuum
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Flash Lamp Annealing of Phosphorus-Implanted Silicon
Veröffentlicht in Physica status solidi. A, Applied research
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Measures used in certifying plastoviscometers
Veröffentlicht in Measurement techniques
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