Evaluation of Thin Films Prepared by r.f. Sputtering with a Poly(etheretherketone) Target von UCHIDA, Daiu, HASEGAWA, Nobuhiko, SOFUE, Hidesato, IWAMORI, Satoru, SAITO, Yoji

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Evaluation of Thin Films Prepared by r.f. Sputtering with a Poly(etheretherketone) Target von UCHIDA, Daiu, HASEGAWA, Nobuhiko, SOFUE, Hidesato, IWAMORI, Satoru, SAITO, Yoji

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Poly(etheretherketone) (PEEK) をターゲットとした高周波スパッタリング法による薄膜作製とその評価 von 内田, 大宇, 長谷川, 周彦, 祖父江, 英哲, 岩森, 暁, 齋藤, 洋司

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