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Method and technique for corroding IC structure
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SOESILO FANDAYANI
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In-situ and ex-situ hardmask process for STI with oxide collar application
von
MILLER ALAN J.,SOESILO FANDAYANI
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In situ and ex situ hardmask process for STI with oxide collar application
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In situ and ex situ hardmask process for STI with oxide collar application
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In situ and ex situ hardmask process for STI with oxide collar application
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IN SITU AND EX SITU ETCHING PROCESS FOR STI WITH OXIDE COLLAR APPLICATION
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In situ and ex situ hardmask process for STI with oxide collar application
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SOESILO, FANDAYANI
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IN SITU AND EX SITU ETCHING PROCESS FOR STI WITH OXIDE COLLAR APPLICATION
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In situ and ex situ etching process for sti with oxide collar application
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,
FANDAYANI SOESILO
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In situ and ex situ hardmask process for STI with oxide collar application
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,
MILLER ALAN J
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IN SITU AND EX SITU ETCHING PROCESS FOR STI WITH OXIDE COLLAR APPLICATION
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SOESILO, FANDAYANI
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In situ and ex situ hardmask process for STI with oxide collar application
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MILLER ALAN J
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Esp@Cenet
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