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METHODS FOR BOW COMPENSATION USING TENSILE NITRIDE
von
Srivathanakul, Songkram Sonny
,
Bajaj, Gopal
,
Lee, Pin Hian
,
Collins, David H
,
Soedibyo, Rio
,
Gaire, Raman
,
Bae, Sanggil
,
Takahashi, Nobuyuki
,
Lazkani, Houssam
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METHODS FOR BOW COMPENSATION USING TENSILE NITRIDE
von
BAE, Sanggil
,
SOEDIBYO, Rio
,
LAZKANI, Houssam
,
COLLINS, David H
,
BAJAJ, Gopal
,
SRIVATHANAKUL, Songkram Sonny
,
LEE, Pin Hian
,
TAKAHASHI, Nobuyuki
,
GAIRE, Raman
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CONTACT CONSTRUCTION FOR SEMICONDUCTOR DEVICES WITH LOW-DIMENSIONAL MATERIALS
von
Tang, Hao-Ling
,
Pakala, Mahendra
,
Hsiao, Yi-Hsuan
,
Conrad, Mark
,
Soedibyo, Rio
,
Yu, Minrui
,
Yang, Dongqing
,
Kumar, Arvind
,
Wong, Keith Tatseun
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4
CONTACT CONSTRUCTION FOR SEMICONDUCTOR DEVICES WITH LOW-DIMENSIONAL MATERIALS
von
HSIAO, Yi-Hsuan
,
SOEDIBYO, Rio
,
KUMAR, Arvind
,
WONG, Keith Tatseun
,
YANG, Dongqing
,
YU, Minrui
,
CONRAD, Mark
,
PAKALA, Mahendra
,
TANG, Hao-Ling
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