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    Kinetics of polyimide etching by supersonic beams consisting of atomic and molecular oxygen mixtures

    Kinetics of polyimide etching by supersonic beams consisting of atomic and molecular oxygen mixtures von Nikiforov, A.P., Skurat, V.E.

    Veröffentlicht in Chemical physics letters

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    Масс-спектрометр von TANTSYREV G.D, LAVROVSKAYA G.K, VETROV O.D, TALROZE V.L, GRISHIN V.D, EROFEEV V.I, FRANKEVICH E.L, YUKHVIDIN YA.A, SKURAT V.E, DEKABRUN L.L, LYUBIMOVA A.K

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