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    DEVICE FOR FEEDING OF THE GALLIUM CHLORIDE VAPORS AT THE GAS-PHASE DEPOSITION OF THE L3T5 COMPOUNDS von SALGANSKIJ JURIJ MIKHAJLOVICH, IVANOV VALERIJ ALEKSANDROVICH, KOTKOV ANATOLIJ PAVLOVICH, GRISHNOVA NATAL'JA DMITRIEVNA, ORLOVSKIJ LEONID ALEKSANDROVICH, SIDOROV VIKTOR ANDREEVICH

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