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Method and system for a pattern layout split
von
LIN BURN JENG
,
SHIN JAW-JUNG
,
SHU KINGANG
,
GAU TSAI-SHENG
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Method and system for identifying lens aberration sensitive patterns in an integrated circuit chip
von
YOU JAN-WEN
,
SHIN JAW-JUNG
,
SHU KINGANG
,
GAU TSAI-SHENG
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Werkwijze en systeem voor het splitsen van een patroonlayout
von
TSAI-SHENG GAU
,
KINGANG SHU
,
JAW-JUNG SHIN
,
BURN-JENG LIN
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Thermo-optic wave-guide switch
von
LAI YINCHIEH
,
CHIU TSUNG-HSUAN
,
HUANG DING-WEI
,
SHU KINGANG
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Method and System For a Pattern Layout Split
von
LIN BURN JENG
,
SHIN JAW-JUNG
,
SHU KINGANG
,
GAU TSAI-SHENG
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Werkwijze en systeem voor het splitsen van een patroonlayout
von
TSAI-SHENG GAU
,
KINGANG SHU
,
JAW-JUNG SHIN
,
BURN-JENG LIN
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Werkwijze en systeem voor het identificeren van lens aberratie gevoelige patronen in een chip met een geïntegreerde schakeling
von
JAN-WEN YOU
,
TSAI-SHENG GAU
,
KINGANG SHU
,
JAW-JUNG SHIN
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Repair of photolithography masks by sub-wavelength artificial grating technology
von
CHANG BINANG
,
LU MING
,
SHU KINGANG
,
KUNG LI-WEI
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9
Method and System for Identifying Lens Aberration Sensitive Patterns in an Integrated Circuit Chip
von
YOU JAN-WEN
,
SHIN JAW-JUNG
,
SHU KINGANG
,
GAU TSAI-SHENG
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Werkwijze en systeem voor het identificeren van lens aberratie gevoelige patronen in een chip met een geïntegreerde schakeling
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JAN-WEN YOU
,
TSAI-SHENG GAU
,
KINGANG SHU
,
JAW-JUNG SHIN
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Thermo-optic wave-guide switch
von
LAI YINCHIEH
,
CHIU TSUNG-HSUAN
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HUANG DING-WEI
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SHU KINGANG
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Repair of photolithography masks by sub-wavelength artificial grating technology
von
CHANG BINANG
,
LU MING
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SHU KINGANG
,
KUNG LI-WEI
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Method, device and system for a pattern layout split
von
LIN BURN JENG
,
SHIN JAW-JUNG
,
SHU KINGANG
,
GAU TSAI-SHENG
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Method of defining forbidden pitches for a lithography exposure tool
von
TIEN LIUN
,
CHEN LI-JUI
,
CHANG MIANG
,
YOU JAN-WEN
,
CHOU YU-JUN
,
CHEN CHUN-KUANG
,
SHIN JAW-JUNG
,
LIN BURN-JENG
,
GAU TSAI-SHENG
,
SHU KINGANG
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Method of defining forbidden pitches for a lithography exposure tool
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TIEN LIUN
,
CHEN LI-JUI
,
CHANG MIANG
,
YOU JAN-WEN
,
CHOU YU-JUN
,
CHEN CHUN-KUANG
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,
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