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FILM FORMATION DEVICE
von
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SUBSTRATE-PINCHING APPARATUS, FILM DEPOSITION APPARATUS, AND FILM DEPOSITION METHOD
von
SHIOIRI NOBURO
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FILM DEPOSITION APPARATUS, METHOD FOR DEPOSITING FILM AND METHOD FOR MANUFACTURING ELECTRONIC DEVICE
von
KIKUCHI KOHEI
,
SHIOIRI NOBURO
,
ONO SOTA
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CONVEYANCE SYSTEM, CONVEYANCE METHOD, DEVICE MANUFACTURING APPARATUS, AND DEVICE MANUFACTURING METHOD
von
SAKAGAMI YUSUKE
,
HOSHINO TAKAO
,
SHIOIRI NOBURO
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SUBSTRATE PULLING DEVICE, FILM DEPOSITION APPARATUS, MANUFACTURING METHOD OF FILM, AND MANUFACTURING METHOD OF ORGANIC ELECTRONIC DEVICE
von
SUZUKI KENTARO
,
SATO TOMOYUKI
,
SHIOIRI NOBURO
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6
FILM DEPOSITION APPARATUS
von
TAKAHASHI MASARU
,
TAMURA HIROYUKI
,
UCHIDA KEIJI
,
SHIBUYA TAKASHI
,
FUJITSUKA MASANAO
,
TAKAHASHI TEIJI
,
SHIOIRI NOBURO
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7
VAPOR DEPOSITION APPARATUS, AND VAPOR DEPOSITION METHOD
von
TAKAHASHI MASARU
,
MATSUMOTO EIICHI
,
TAMURA HIROYUKI
,
FUJITSUKA MASANAO
,
SHIOIRI NOBURO
,
KARIYA TOSHIMITSU
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Patent
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8
DEVICE FOR FEEDING VAPOR DEPOSITION MATERIAL
von
MATSUMOTO EIICHI
,
KONDO YOSHINARI
,
MAKI SHUJI
,
SHIOIRI NOBURO
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Esp@Cenet
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