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    METHOD FOR OPERATING EVACUATION SYSTEM

    METHOD FOR OPERATING EVACUATION SYSTEM von TAUCHI KUNIAKI, SHIBAMURA AKIMITSU

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    Patent

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    JPH0567708B

    JPH0567708B von FURUKAWA HEIZABURO, KATO MITSUO, SHIBAMURA AKIMITSU, YANAGI KENICHI

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    EVACUATION PUMP SYSTEM FOR CONTINUOUS VACUUM DEPOSITION DEVICE

    EVACUATION PUMP SYSTEM FOR CONTINUOUS VACUUM DEPOSITION DEVICE von FURUKAWA HEIZABURO, KATO MITSUO, WADA TETSUYOSHI, SHIBAMURA AKIMITSU, YANAGI KENICHI

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    ROLL SEALING DEVICE

    ROLL SEALING DEVICE von FURUKAWA HEIZABURO, KATO MITSUO, SHIBAMURA AKIMITSU, YANAGI KENICHI

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