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    Anisotropic Etching Using Reactive Cluster Beams

    Anisotropic Etching Using Reactive Cluster Beams von Koike, Kunihiko, Yoshino, Yu, Senoo, Takehiko, Seki, Toshio, Ninomiya, Satoshi, Aoki, Takaaki, Matsuo, Jiro

    Veröffentlicht in Applied physics express

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    Reactive etching by ClF3-Ar neutral cluster beam with scanning

    Reactive etching by ClF3-Ar neutral cluster beam with scanning von Seki, Toshio, Yoshino, Yu, Senoo, Takehiko, Koike, Kunihiko, Aoki, Takaaki, Matsuo, Jiro


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    Reactive etching by ClF 3 –Ar neutral cluster beam with scanning

    Reactive etching by ClF 3 –Ar neutral cluster beam with scanning von Seki, Toshio, Yoshino, Yu, Senoo, Takehiko, Koike, Kunihiko, Aoki, Takaaki, Matsuo, Jiro


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    Reactive etching by ClF sub(3)-Ar neutral cluster beam with scanning

    Reactive etching by ClF sub(3)-Ar neutral cluster beam with scanning von Seki, Toshio, Yoshino, Yu, Senoo, Takehiko, Koike, Kunihiko, Aoki, Takaaki, Matsuo, Jiro


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    Velocity control of ClF3 neutral cluster with He carrier gas

    Velocity control of ClF3 neutral cluster with He carrier gas von Seki, Toshio, Yoshino, Yu, Senoo, Takehiko, Koike, Kunihiko, Karahashi, Kazuhiro, Aoki, Takaaki, Matsuo, Jiro


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    Technique of Wide Area Si Etching with ClF3 Cluster Beam (2)

    Technique of Wide Area Si Etching with ClF3 Cluster Beam (2) von Yoshino, Yu, Senoo, Takehiko, Koike, Kunihiko, Seki, Toshio, Aoki, Takaaki, Matsuo, Jiro


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    Fine patterns etching with ClF3 neutral cluster beam

    Fine patterns etching with ClF3 neutral cluster beam von Seki, Toshio, Yamamoto, Hiroki, Kozawa, Takahiro, Yoshino, Yu, Senoo, Takehiko, Koike, Kunihiko, Aoki, Takaaki, Matsuo, Jiro


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    Cutting method of workpiece by forming reformed region and dry etching process

    Cutting method of workpiece by forming reformed region and dry etching process von Shojo, Tadashi, Senoo, Takehiko, Ogiwara, Takafumi, Izumi, Koichi, Manabe, Toshiki, Sakamoto, Takeshi

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    Cutting method

    Cutting method von Shojo, Tadashi, Senoo, Takehiko, Ogiwara, Takafumi, Izumi, Koichi, Manabe, Toshiki, Sakamoto, Takeshi

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    GAS CLUSTER PROCESSING DEVICE AND GAS CLUSTER PROCESSING METHOD

    GAS CLUSTER PROCESSING DEVICE AND GAS CLUSTER PROCESSING METHOD von KANEHIRA, Keita, YOSHINO, Yu, DOBASHI, Kazuya, SAITO, Yukimasa, KOIKE, Kunihiko, IZUMI, Koichi, ORII, Takehiko, SENOO, Takehiko, SHOJO, Tadashi

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    Gas cluster processing device and gas cluster processing method

    Gas cluster processing device and gas cluster processing method von Saito, Yukimasa, Shojo, Tadashi, Senoo, Takehiko, Orii, Takehiko, Kanehira, Keita, Izumi, Koichi, Dobashi, Kazuya, Koike, Kunihiko, Yoshino, Yu

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    Gas Cluster Processing Device and Gas Cluster Processing Method

    Gas Cluster Processing Device and Gas Cluster Processing Method von KANEHIRA, Keita, YOSHINO, Yu, DOBASHI, Kazuya, SAITO, Yukimasa, KOIKE, Kunihiko, IZUMI, Koichi, ORII, Takehiko, SENOO, Takehiko, SHOJO, Tadashi

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    CUTTING METHOD

    CUTTING METHOD von IZUMI, Koichi, SAKAMOTO, Takeshi, MANABE, Toshiki, SENOO, Takehiko, SHOJO, Tadashi, OGIWARA, Takafumi

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    CUTTING METHOD

    CUTTING METHOD von IZUMI, Koichi, SAKAMOTO, Takeshi, MANABE, Toshiki, SENOO, Takehiko, SHOJO, Tadashi, OGIWARA, Takafumi

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    SCHNEIDEVERFAHREN

    SCHNEIDEVERFAHREN von Izumi,, Koichi, Ogiwara, Takafumi, Shojo,, Tadashi, Manabe, Toshiki, Senoo,, Takehiko, Sakamoto, Takeshi

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    CUTTING METHOD

    CUTTING METHOD von IZUMI, Koichi, SAKAMOTO, Takeshi, MANABE, Toshiki, SENOO, Takehiko, SHOJO, Tadashi, OGIWARA, Takafumi

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    CUTTING METHOD

    CUTTING METHOD von IZUMI, Koichi, SAKAMOTO, Takeshi, MANABE, Toshiki, SENOO, Takehiko, SHOJO, Tadashi, OGIWARA, Takafumi

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    GAS ETCHING METHOD FOR NICKEL

    GAS ETCHING METHOD FOR NICKEL von YOSHINO YUTAKA, SENOO TAKEHIKO

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    TWI772380B

    TWI772380B von SENOO, TAKEHIKO, SAITO, YUKIMASA, YOSHINO, YU, SHOJO, TADASHI, KANEHIRA, KEITA, DOBASHI, KAZUYA, ORII, TAKEHIKO, KOIKE, KUNIHIKO, IZUMI, KOICHI

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    TWI760531B

    TWI760531B von OGIWARA, TAKAFUMI, SENOO, TAKEHIKO, SAKAMOTO, TAKESHI, MANABE, TOSHIKI, SHOJO, TADASHI, IZUMI, KOICHI

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