Suchergebnisse - SEKIMOTO, Misao

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X-ray mask inspection using replicated resist patterns von SEKIMOTO, M, TSUYUZAKI, H, OKADA, I, SHIBAYAMA, A, MATSUDA, T

Veröffentlicht in Japanese Journal of Applied Physics

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2

Soft x‐ray microscope at the undulator beamline of the Photon Factory von Kagoshima, Yasushi, Aoki, Sadao, Kakuchi, Masami, Sekimoto, Misao, Maezawa, Hideki, Hyodo, Kazuyuki, Ando, Masami

Veröffentlicht in Review of Scientific Instruments

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3

Silicon Nitride Single-Layer X-Ray Mask von Sekimoto, Misao, Yoshihara, Hideo, Ohkubo, Takashi, Saitoh, Yasunao

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4

Transparent X-Ray Lithography Masks von Ebata, Toshiki, Sekimoto, Misao, Ono, Toshiro, Suzuki, Katsumi, Matsui, Junji, Nakayama, Satoshi

Veröffentlicht in Japanese Journal of Applied Physics

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5

Si 3 N 4 -Polyimide-SiO 2 Complex Membrane X-Ray Lithography Mask von Sekimoto, Misao

Veröffentlicht in Japanese Journal of Applied Physics

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6

Torsional Impulsive Response of an Elastic Half-Space due to a Rigid Circular Cylinder von MATSUMOTO, Hiroyuki, NAKAHARA, Ichiro, SEKIMOTO, Misao

Veröffentlicht in Bulletin of JSME

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7

DEFECT INSPECTING METHOD FOR X-RAY TAKING-OUT WINDOW von SEKIMOTO MISAO

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8

DRYETCHING PROCESS von SEKIMOTO MISAO

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9

SAMPLE SUCTION HOLDER von SEKIMOTO MISAO

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Torsional Impulsive Response of an Elastic Half-Space Due to a Rigid Circular Cylinder von MATSUMOTO, Hiroyuki, NAKAHARA, Ichiro, SEKIMOTO, Misao

Veröffentlicht in Transactions of the Japan Society of Mechanical Engineers

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METHOD FOR CHECKING X-RAY MASK von MATSUDA KOREHITO, SEKIMOTO MISAO

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MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE von TANABE YASUYUKI, SEKIMOTO MISAO

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ELECTRON CYCLOTRON RESONANCE PLASMA DEVICE von TAKAHASHI CHIHARU, SEKIMOTO MISAO

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X-RAY MASK von YOSHIHARA HIDEO, SEKIMOTO MISAO

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MANUFACTURE OF MASK FOR X-RAY EXPOSURE von OKUBO TAKASHI, SEKIMOTO MISAO

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MASK STORAGE DEVICE von OKADA IKUO, MATSUDA KOREHITO, SEKIMOTO MISAO

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17

Step-and-repeat x-ray/photo hybrid lithography for 0.3- mu m MOS devices von Deguchi, K, Komatsu, K, Namatsu, H, Sekimoto, M, Miyake, M, Hirata, K

Veröffentlicht in IEEE transactions on electron devices

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OPTICAL EXPOSURE SYSTEM von OKADA IKUO, MATSUDA KOREHITO, SEKIMOTO MISAO

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MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE von IMAI KAZUO, KIMIZUKA MASAKATSU, SEKIMOTO MISAO

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20

HOUSING DEVICE von TSUYUSAKI HARUO, FUKUDA MAKOTO, OKADA IKUO, SEKIMOTO MISAO

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X-ray mask inspection using replicated resist patterns von SEKIMOTO, M, TSUYUZAKI, H, OKADA, I, SHIBAYAMA, A, MATSUDA, T

Soft x‐ray microscope at the undulator beamline of the Photon Factory von Kagoshima, Yasushi, Aoki, Sadao, Kakuchi, Masami, Sekimoto, Misao, Maezawa, Hideki, Hyodo, Kazuyuki, Ando, Masami

Silicon Nitride Single-Layer X-Ray Mask von Sekimoto, Misao, Yoshihara, Hideo, Ohkubo, Takashi, Saitoh, Yasunao

Transparent X-Ray Lithography Masks von Ebata, Toshiki, Sekimoto, Misao, Ono, Toshiro, Suzuki, Katsumi, Matsui, Junji, Nakayama, Satoshi

Si 3 N 4 -Polyimide-SiO 2 Complex Membrane X-Ray Lithography Mask von Sekimoto, Misao

Torsional Impulsive Response of an Elastic Half-Space due to a Rigid Circular Cylinder von MATSUMOTO, Hiroyuki, NAKAHARA, Ichiro, SEKIMOTO, Misao

DEFECT INSPECTING METHOD FOR X-RAY TAKING-OUT WINDOW von SEKIMOTO MISAO

DRYETCHING PROCESS von SEKIMOTO MISAO

SAMPLE SUCTION HOLDER von SEKIMOTO MISAO

Torsional Impulsive Response of an Elastic Half-Space Due to a Rigid Circular Cylinder von MATSUMOTO, Hiroyuki, NAKAHARA, Ichiro, SEKIMOTO, Misao

METHOD FOR CHECKING X-RAY MASK von MATSUDA KOREHITO, SEKIMOTO MISAO

MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE von TANABE YASUYUKI, SEKIMOTO MISAO

ELECTRON CYCLOTRON RESONANCE PLASMA DEVICE von TAKAHASHI CHIHARU, SEKIMOTO MISAO

X-RAY MASK von YOSHIHARA HIDEO, SEKIMOTO MISAO

MANUFACTURE OF MASK FOR X-RAY EXPOSURE von OKUBO TAKASHI, SEKIMOTO MISAO

MASK STORAGE DEVICE von OKADA IKUO, MATSUDA KOREHITO, SEKIMOTO MISAO

Step-and-repeat x-ray/photo hybrid lithography for 0.3- mu m MOS devices von Deguchi, K, Komatsu, K, Namatsu, H, Sekimoto, M, Miyake, M, Hirata, K

OPTICAL EXPOSURE SYSTEM von OKADA IKUO, MATSUDA KOREHITO, SEKIMOTO MISAO

MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE von IMAI KAZUO, KIMIZUKA MASAKATSU, SEKIMOTO MISAO

HOUSING DEVICE von TSUYUSAKI HARUO, FUKUDA MAKOTO, OKADA IKUO, SEKIMOTO MISAO

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