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METROLOGY MEASUREMENT METHOD AND APPARATUS
von
VAN RIJSWIJK, Loes Frederique
,
SCHOLZ, Sandy Claudia
,
NIENHUYS, Han-Kwang
,
HELFENSTEIN, Patrick Philipp
,
ROOBOL, Sander Bas
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2
OBTAINING A PARAMETER CHARACTERIZING A FABRICATION PROCESS
von
MIDDLEBROOKS, Scott Anderson
,
SCHOLZ, Sandy Claudia
,
VAN RIJSWIJK, Loes Frederique
,
HELFENSTEIN, Patrick Philipp
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3
METHOD FOR PARAMETER RECONSTRUCTION OF A METROLOGY DEVICE AND ASSOCIATED METROLOGY DEVICE
von
SCHOLZ, Sandy, Claudia
,
PORTER, Christina, Lynn
,
VAN RIJSWIJK, Loes, Frederique
,
HELFENSTEIN, Patrick, Philipp
,
COENEN, Teis, Johan
,
MIDDLEBROOKS, Scott, Anderson
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Patent
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4
Method and apparatus for determining a radiation beam intensity profile
von
Scholz, Sandy Claudia
,
Nienhuys, Han-Kwang
,
Roobol, Sander Bas
,
Coenen, Teis Johan
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5
METHOD FOR CORRECTING MEASUREMENTS IN THE MANUFACTURE OF INTEGRATED CIRCUITS AND ASSOCIATED APPARATUSES
von
COTTAAR, Jeroen
,
GEYPEN, Niels
,
COENEN, Teis Johan
,
MOSSAVAT, Seyed Iman
,
SCHOLZ, Sandy Claudia
,
NIENHUYS, Han-Kwang
,
ROOBOL, Sander Bas
,
PORTER, Christina Lynn
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Patent
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6
METHOD AND APPARATUS FOR DETERMINING A RADIATION BEAM INTENSITY PROFILE
von
SCHOLZ, Sandy Claudia
,
NIENHUYS, Han-Kwang
,
ROOBOL, Sander Bas
,
COENEN, Teis, Johan
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7
Method and Apparatus for Determining a Radiation Beam Intensity Profile
von
COENEN, Teis Johan
,
SCHOLZ, Sandy Claudia
,
NIENHUYS, Han-Kwang
,
ROOBOL, Sander Bas
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Patent
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8
제작 공정을 특징짓는 파라미터 획득
von
VAN RIJSWIJK LOES FREDERIQUE
,
HELFENSTEIN PATRICK PHILIPP
,
SCHOLZ SANDY CLAUDIA
,
MIDDLEBROOKS SCOTT ANDERSON
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Patent
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9
계측 측정 방법 및 장치
von
VAN RIJSWIJK LOES FREDERIQUE
,
HELFENSTEIN PATRICK PHILIPP
,
SCHOLZ SANDY CLAUDIA
,
ROOBOL SANDER BAS
,
NIENHUYS HAN KWANG
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10
Metrology measurement method and apparatus
von
ROOBOL, SANDER BAS
,
NIENHUYS, HAN-KWANG
,
HELFENSTEIN, PATRICK PHILIPP
,
SCHOLZ, SANDY CLAUDIA
,
VAN RIJSWIJK, LOES FREDERIQUE
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11
Method for parameter reconstruction of a metrology device and associated metrology device
von
PORTER, CHRISTINA LYNN
,
COENEN, TEIS JOHAN
,
HELFENSTEIN, PATRICK PHILIPP
,
SCHOLZ, SANDY CLAUDIA
,
VAN RIJSWIJK, LOES FREDERIQUE
,
MIDDLEBROOKS, SCOTT ANDERSON
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Patent
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12
통합 회로 및 관련 장치의 제조 시에 측정값을 보정하기 위한 방법
von
MOSSAVAT SEYED IMAN
,
GEYPEN NIELS
,
SCHOLZ SANDY CLAUDIA
,
COTTAAR JEROEN
,
ROOBOL SANDER BAS
,
COENEN TEIS JOHAN
,
NIENHUYS HAN KWANG
,
PORTER CHRISTINA LYNN
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13
Method for correcting measurements in the manufacture of integrated circuits and associated apparatuses
von
ROOBOL, SANDER BAS
,
PORTER, CHRISTINA LYNN
,
MOSSAVAT, SEYED IMAN
,
NIENHUYS, HAN-KWANG
,
COENEN, TEIS JOHAN
,
COTTAAR, JEROEN
,
SCHOLZ, SANDY CLAUDIA
,
GEYPEN, NIELS
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Patent
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14
METHOD FOR CORRECTING MEASUREMENTS IN THE MANUFACTURE OF INTEGRATED CIRCUITS AND ASSOCIATED APPARATUSES
von
ROOBOL, SANDER BAS
,
PORTER, CHRISTINA LYNN
,
MOSSAVAT, SEYED IMAN
,
NIENHUYS, HAN-KWANG
,
COENEN, TEIS JOHAN
,
COTTAAR, JEROEN
,
SCHOLZ, SANDY CLAUDIA
,
GEYPEN, NIELS
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Patent
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15
Method for correcting measurements in the manufacture of integrated circuits and associated apparatuses
von
ROOBOL, SANDER BAS
,
PORTER, CHRISTINA LYNN
,
MOSSAVAT, SEYED IMAN
,
NIENHUYS, HAN-KWANG
,
COENEN, TEIS JOHAN
,
COTTAAR, JEROEN
,
SCHOLZ, SANDY CLAUDIA
,
GEYPEN, NIELS
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