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(Ba, Sr)TiO3 thin film growth in a batch processing MOCVD reactor
Veröffentlicht in Journal of the European Ceramic Society
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BST thin films grown in a multiwafer MOCVD reactor
Veröffentlicht in Journal of the European Ceramic Society
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Deposition of electroceramic thin films by MOCVD
Veröffentlicht in Advanced materials for optics and electronics
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Deposition of thin BST films in a multi-wafer planetary reactor
Veröffentlicht in Integrated ferroelectrics
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(Ba,Sr)TiO 3 thin film growth in a batch processing MOCVD reactor
Veröffentlicht in Journal of the European Ceramic Society
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