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Development of a digital control system for high-performance pneumatic servo valve
Veröffentlicht in Precision engineering
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空気圧ベローズにより駆動する微動ステージの制御方法とナノ位置決め
Veröffentlicht in Transaction of the Japan Fluid Power System Society
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Air Consumption of Pneumatic Servo Table System with Air Bearing
Veröffentlicht in Keisoku Jidō Seigyo Gakkai ronbunshū
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