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    Halbleitersensor für eine physikalische Grösse und Verfahren zu dessen Herstellung

    Halbleitersensor für eine physikalische Grösse und Verfahren zu dessen Herstellung von YAMAMOTO, TOSHIMASA, SAKAI, MINAKAZU, TAKEUCHI, YUKIHIRO, MURATA, MINORU, MUTO, HIROSHI, ISHIO, SEIICHIRO, KAWASAKI, EISHI, TOYODA, INAO

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    Semiconductor sensor, e.g. a capacitive-type acceleration sensor, is designed to avoid mobile and fixed section adhesion caused by electrostatic force, liquid surface tension and/or excessive external force

    Semiconductor sensor, e.g. a capacitive-type acceleration sensor, is designed to avoid mobile and fixed section adhesion caused by electrostatic force, liquid surface tension and/o... von YAMAMOTO, TOSHIMASA, SAKAI, MINAKAZU, TAKEUCHI, YUKIHIRO, MURATA, MINORU, MUTO, HIROSHI, ISHIO, SEIICHIRO, KAWASAKI, EISHI, TOYODA, INAO

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