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METHOD FOR FORMATION OF METAL INTERLAYER INSULATING FILM IN SEMICONDUCTOR DEVICE
von
KIN CHIYOUKEI
,
SAI SHIGEN
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Patent
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2
METHOD FOR COMPENSATING VARIATION OF PATTERN SIZE CAUSED BY REDISPERSED ELECTRON BEAM ON PERFORMING ELECTRON BEAM LITHOGRAPHY AND RECORDING MEDIUM RECORDING THE SAME
von
KI GENDAI
,
SAI SHIGEN
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3
METHOD FOR ISOLATING ELEMENT OF SEMICONDUCTOR DEVICE
von
HAKU BINSHU
,
SAI SHIGEN
,
KIN CHOKEI
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4
PREPARATION OF PASSIVATION FILM FOR SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUITS
von
SHIN KOUSAI
,
SAI SHIGEN
,
KO HEIKIN
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5
FORMATION OF CONDUCTIVE LINE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
von
SAI SHIGEN
,
SHIN KIYOUSAI
,
TEI YUUJIN
,
KOU HEIKIN
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6
METHOD FOR CURING SOG LAYER AND METHOD FOR FORMING INSULATING FILM OF SEMICONDUCTOR DEVICE USING THE CURING METHOD
von
RI KAITEI
,
GU SHUZEN
,
SAI SHIGEN
,
KO HEIKIN
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7
FORMATION OF CONTACT HOLE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
von
GU SHUZEN
,
SAI SHIGEN
,
RI KAIO
,
KO HEIKIN
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Patent
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8
FORMATION OF INTERLAYER INSULATING FILM OF SEMICONDUCTOR DEVICE
von
RI KAITEI
,
SAI SHIGEN
,
KOU HEIKIN
,
GU SHIYUZEN
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Patent
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9
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
von
KOU CHINKI
,
KIN CHIYOUKEI
,
KIYOU KANEN
,
KIN ENSHIYUU
,
SAI SHIGEN
,
HAYASHI EISHIN
,
TEI YUUJIN
,
RI AKINORI
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Patent
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Esp@Cenet
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