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1
EXPOSURE APPARATUS AND METHOD OF EXPOSING SEMICONDUCTOR SUBSTRATE
von
KIM BYUNG-GOOK
,
NAM DONG-SEOK
,
SAI SEIUN
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PHOTOMASK INCLUDING SHADOWING ELEMENT, AND RELATED METHOD AND SYSTEM
von
KIM SOONHO
,
SAI SEIUN
,
BUN SEIYO
,
BOKU CHINKO
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3
Photomask for providing uniform CD (critical dimension) in semiconductor device, and method for manufacturing same
von
RI TOKON,SAI SEIUN,JEON CHAN-UK,KIM BYUNG-GOOK
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4
PHOTOMASK FOR PROVIDING UNIFORM CD (CRITICAL DIMENSION) IN SEMICONDUCTOR DEVICE, AND METHOD FOR MANUFACTURING SAME
von
KIM BYUNG-GOOK
,
SAI SEIUN
,
JEON CHAN-UK
,
RI TOKON
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5
PHOTOMASK AND METHOD OF CORRECTING TRANSMISSIVITY OF PHOTOMASK
von
SUNG MOON-GYU
,
SAI SEIUN
,
AHN WON-SUK
,
LEE JEONG-YUN
,
CHO SUNG-YONG
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6
METHOD OF REPAIRING PHASE SHIFT MASK
von
HAN SUNG-JAE
,
JANG IL-YONG
,
SAI SEIUN
,
LEE JEONG-YUN
,
AHN WON-SUK
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7
METHOD FOR MANUFACTURING PHOTOMASK, PHOTOMASK BY THE SAME, AND EXPOSURE METHOD UTILIZING SAME
von
SAI SEIUN
,
PARK JONG-RAK
,
JANG SUNG-HOON
,
RO KISEI
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8
PHOTOMASK AND METHOD OF MANUFACTURING THE SAME
von
SHIN IN-KYUN
,
SON SEIBIN
,
YOON HEE-SUN
,
SAI SEIUN
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9
FLARE MEASURING MASK, METHOD OF MANUFACTURING MASK, METHOD FOR SETTING FLARE INFLUENCE AREA ON WAFER AND METHOD OF MANUFACTURING MASK FOR FLARE CORRECTION
von
KI GENDAI
,
KAN USEI
,
SON SEIBIN
,
CHIN ZENYU
,
SAI SEIUN
,
TEI TAIBUN
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10
PROJECTION EXPOSURE METHOD, PROJECTION ALIGNER USED FOR IT AND MASK
von
KAN USEI
,
KIN TETSUKOU
,
SAI SEIUN
,
KYO HIROHIDE
,
SON SHIYOUCHIN
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