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Gettering in Advanced Low Temperature Processes
Veröffentlicht in Solid state phenomena
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High voltage electron microscope study of defects in silicon
Veröffentlicht in Physica B + C
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Automated People Mover System for LTA Singapore "Crystal Mover"
Veröffentlicht in Mitsubishi Juko Giho
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Degradation of gate oxide integrity by metal impurities
Veröffentlicht in Japanese Journal of Applied Physics
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