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Spontaneous bonding of hydrophobic silicon surfaces
Veröffentlicht in Applied physics letters
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Improved direct bonding of Si and SiO2 surfaces by cleaning in H2SO4:H2O2:HF
Veröffentlicht in Applied physics letters
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The effects of HF cleaning prior to silicon wafer bonding
Veröffentlicht in Journal of the Electrochemical Society
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Buried Cobalt Silicide Layers in Silicon Created by Wafer Bonding
Veröffentlicht in Journal of the Electrochemical Society
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Buried cobalt silicide slyers in silicon created by wafer bonding
Veröffentlicht in Journal of the Electrochemical Society
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