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Silicon nitride stress-optic microresonator modulator for optical control applications
Veröffentlicht in Optics express
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PZT-Based Piezoelectric MEMS Technology
Veröffentlicht in Journal of the American Ceramic Society
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Piezoelectric RF MEMS Switches on Si-on-Sapphire Substrates
Veröffentlicht in Journal of microelectromechanical systems
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Piezoelectric PZT MEMS technologies for small-scale robotics and RF applications
Veröffentlicht in MRS bulletin
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Integrated thin-film piezoelectric traveling wave ultrasonic motors
Veröffentlicht in Sensors and actuators. A. Physical.
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Phenomenological Model for Defect Interactions in Irradiated Functional Materials
Veröffentlicht in Scientific reports
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