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Plasma etching of dielectric films using the non-global-warming gas CF3I
Veröffentlicht in Materials letters
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Investigation of CF3I as an Environmentally Benign Dielectric Etchant
Veröffentlicht in Journal of materials research
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Poster 21 Intrathecal Baclofen in the Treatment of Dysautonomia: A Case Report
Veröffentlicht in PM & R
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Plasma etching of dielectric films using the non-global-warming gas CF 3I
Veröffentlicht in Materials letters
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Investigation of CF 3 I as an Environmentally Benign Dielectric Etchant
Veröffentlicht in Journal of materials research
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