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    Capacitive RF discharges modelled by particle-in-cell Monte Carlo simulation. II. Comparisons with laboratory measurements of electron energy distribution functions

    Capacitive RF discharges modelled by particle-in-cell Monte Carlo simulation. II. Comparisons with laboratory measurements of electron energy distribution functions von Vahedi, V, Birdsall, C K, Lieberman, M A, DiPeso, G, Ronhlien, T D


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