-
1
-
2
-
3
-
4
-
5
-
6
Intrinsic band edge traps in nano-crystalline HfO2 gate dielectrics
Veröffentlicht in Microelectronic engineering
VolltextArtikel -
7
-
8
-
9
Texture and surface roughness of PRCVD aluminum films
Veröffentlicht in Thin solid films
VolltextArtikel -
10
-
11
-
12
-
13
Programmed rate chemical vapor deposition protocols
Veröffentlicht in Journal of the Electrochemical Society
VolltextArtikel -
14
-
15
-
16
-
17
-
18
-
19
-
20
Spatial composition variation in sputtered TiW films
Veröffentlicht in Thin solid films
VolltextArtikel