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Out-of-Plane Knife-Gate Microvalves for Controlling Large Gas Flows
von
Haasl, S.
,
Braun, S.
,
Ridgeway, A.S.
,
Sadoon, S.
,
van der Wijngaart, W.
,
Stemme, G.
Veröffentlicht in
Journal of microelectromechanical systems
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Small footprint knife gate microvalves for large flow control
von
Braun, S.
,
Haasl, S.
,
Sadoon, S.
,
Ridgeway, A.S.
,
van der Wijngaart, W.
,
Stemme, G.
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A micromachined knife gate valve for high-flow pressure regulation applications
von
van der Wijngaart, W.
,
Ridgeway, A.S.
,
Stemme, G.
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