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Production of focused electron beams in a plasma implantation system
Veröffentlicht in Surface & coatings technology
VolltextArtikel -
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Puff-gas coaxial-injected electromagnetic coaxial plasma gun
Veröffentlicht in Journal of applied physics
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Production of focused electron beams in a plasma implantation system
Veröffentlicht in Surface & coatings technology
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