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Yield focused defect reduction methodology
von
Retersdorf, M.
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Use of Spatial Pattern Recognition (SPR) for Enhancing the Resolution and Identification of Rogue Tools in Manufacturing
von
Retersdorf, M.
,
Anand, A.
,
Drozda-Freeman, A.
,
Mclntyre, M.
,
Xin Song
,
Wang, J.
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A covariance model for the yield of large memory chips
von
Stapper
,
Retersdorf
,
Rosner
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