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Low Temperature Microwave Anneal in FinFET Fabrication
von
Kassim, Joseph
,
Lee, Rinus T.P.
,
Krishnan, Rishikesh
,
Ferrer, Domingo
,
Yang, Jie
,
Shusterman, Yuriy
,
Ramirez, Isreal
,
Liu, Huang
,
Lui, Jinping
,
Krishnan, Bharat
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Low Temperature Microwave Anneal in FinFET Fabrication
von
Kassim, Joseph
,
Lee, Rinus T.P.
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Krishnan, Rishikesh
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Ferrer, Domingo
,
Yang, Jie
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Shusterman, Yuriy
,
Ramirez, Isreal
,
Liu, Huang
,
Lui, Jinping
,
Krishnan, Bharat
Veröffentlicht in
Meeting abstracts (Electrochemical Society)
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Open Access: Iop Publishing Free Content
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