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    METHOD OF PRODUCING THIN ALUMINIUM NITRIDE FILMS IN MOLECULAR LAYERING MODE

    METHOD OF PRODUCING THIN ALUMINIUM NITRIDE FILMS IN MOLECULAR LAYERING MODE von Ramazanov Shikhgasan Muftyalievich, Gammataev Said Limatulaevich, Ramazanov Gusejn Muftyalievich, Sobola Dinara Sultanovna, Rizvanov Ilmar Gyulimetovich

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