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Rajavelu Muralidhar, Shiva K. T
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1
Semiconductor processing chamber with filament lamps having nonuniform heat output
von
Kim, Sam
,
Rajavelu Muralidhar, Shiva K. T
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Patent
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2
Runout and wobble measurement fixtures
von
Patil, Aniket Nitin
,
Kim, Sam
,
Rathi, Saket
,
Rajavelu Muralidhar, Shiva K. T
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Patent
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3
Method and apparatus for transmittance measurements of large articles
von
Alvandi-Tabrizi, Youness
,
Kim, Sam
,
Rajavelu Muralidhar, Shiva K. T
,
DiSanto, John
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Susceptor for semiconductor substrate processing
von
Lin, Xing
,
Demos, Alexandros
,
Luan, Siyao
,
Rathi, Saket
,
Rajavelu Muralidhar, Shiva K. T
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5
PROCESS CHAMBER WITH SIDE SUPPORT
von
RAJAVELU MURALIDHAR, Shiva K. T
,
DISANTO, John
,
ALVANDI-TABRIZI, Youness
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6
Substrate retaining apparatus, system including the apparatus, and method of using same
von
Kim, Sam
,
Robinson, Jeffrey Barrett
,
Sonje, Ninad Vijay
,
Rajavelu Muralidhar, Shiva K. T
,
Wilson, Jr., James King
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7
SEMICONDUCTOR PROCESSING CHAMBER WITH FILAMENT LAMPS HAVING NONUNIFORM HEAT OUTPUT
von
KIM SAM
,
RAJAVELU MURALIDHAR SHIVA K T
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8
Substrate retaining apparatus, system including the apparatus, and method of using same
von
WILSON JR JAMES KING
,
KIM SAM
,
ROBINSON JEFFREY BARRETT
,
SONJE NINAD VIJAY
,
RAJAVELU MURALIDHAR SHIVA K. T
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9
SUSCEPTOR FOR SEMICONDUCTOR SUBSTRATE PROCESSING
von
MURALIDHAR SHIVA K T RAJAVELU
,
LUAN SIYAO
,
RATHI SAKET
,
LIN XING
,
ALEXANDROS DEMOS
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10
SUBSTRATE RETAINING APPARATUS SYSTEM INCLUDING THE APPARATUS AND METHOD OF USING SAME
von
MURALIDHAR SHIVA K. T. RAJAVELU
,
KIM SAM
,
WILSON JR. JAMES KING
,
ROBINSON JEFFREY BARRETT
,
SONJE NINAD VIJAY
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11
SUBSTRATE RETAINING APPARATUS, SYSTEM INCLUDING APPARATUS, AND METHOD OF USING THE SAME
von
SAM KIM
,
NINAD VIJAY SONJE
,
SHIVA K T RAJAVELU MURALIDHAR
,
JAMES KING WILSON JR
,
JEFFREY BARRETT ROBINSON
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Patent
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Coating Metallic Material
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Esp@Cenet
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