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Effect of Treatment Conditions of Capacitor Structures Based on Porous Silicon and Ferroelectric on Their Dielectric Losses in the HF and Microwave Ranges
von
Semenova, O. V.
,
Patrusheva, T. N.
,
Yuzova, V. A.
,
Lemberg, K. V.
,
Railko, M. Yu
,
Podorozhnyak, S. A.
,
Khol’kin, A. I.
Veröffentlicht in
Theoretical foundations of chemical engineering
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2
Forming Porous Structures on Silicon with a Ferroelectric for Capacitive Microelectronic and Microsystems Engineering Elements
von
Semenova, O. V.
,
Railko, M. Yu
,
Patrusheva, T. N.
,
Merkushev, F. F.
,
Podorozhyak, S. A.
,
Yuzova, V. A.
,
Korets, A. Ya
,
Khol’kin, A. I.
Veröffentlicht in
Theoretical foundations of chemical engineering
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3
Porous Silicon Capacitor Structures with Embedded Barium Strontium Titanates
von
Semenova, O. V.
,
Patrusheva, T. N.
,
Podorozhnyak, S. A.
,
Yuzova, V. A.
,
Korets, A. Ya
,
Kholkin, A. I.
,
Railko, M. Yu
Veröffentlicht in
Theoretical foundations of chemical engineering
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4
Optical properties of porous silicon structures with nanophase diamond films
von
Semenova, O. V.
,
Merkushev, F. F.
,
Railko, M. Yu
,
Podorozhnyak, S. A.
,
Patrusheva, T. N.
,
Korets, A. Ya
,
Khol’kin, A. I.
Veröffentlicht in
Theoretical foundations of chemical engineering
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