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Aluminum Nitride Out-of-Plane Piezoelectric MEMS Actuators
Veröffentlicht in Micromachines (Basel)
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MEMS-Based Acetone Vapor Sensor for Non-Invasive Screening of Diabetes
Veröffentlicht in IEEE sensors journal
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Characterization of embedded microheater of a CMOS–MEMS gravimetric sensor device
Veröffentlicht in Microelectronics
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