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Aluminum Nitride Out-of-Plane Piezoelectric MEMS Actuators
Veröffentlicht in Micromachines (Basel)
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Laterally Actuated Si-to-Si DC MEMS Switch for Power Switching Applications
Veröffentlicht in Micromachines (Basel)
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MEMS-Based Acetone Vapor Sensor for Non-Invasive Screening of Diabetes
Veröffentlicht in IEEE sensors journal
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IOT for Agriculture: Food Quality and Safety
Veröffentlicht in IOP conference series. Materials Science and Engineering
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Characterization of embedded microheater of a CMOS–MEMS gravimetric sensor device
Veröffentlicht in Microelectronics
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