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On the film density using high power impulse magnetron sputtering
Veröffentlicht in Surface & coatings technology
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On sheath energization and Ohmic heating in sputtering magnetrons
Veröffentlicht in Plasma sources science & technology
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Bipolar HiPIMS for tailoring ion energies in thin film deposition
Veröffentlicht in Surface & coatings technology
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On working gas rarefaction in high power impulse magnetron sputtering
Veröffentlicht in Plasma sources science & technology
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HiPIMS optimization by using mixed high-power and low-power pulsing
Veröffentlicht in Plasma sources science & technology
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Particle-balance models for pulsed sputtering magnetrons
Veröffentlicht in Journal of physics. D, Applied physics
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