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Abnormal growth of LPCVD SiO2 on CoSi2 by high dose As implantation
Veröffentlicht in Thin solid films
VolltextArtikel -
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Abnormal silicon oxide growth on cobalt silicide in arsenic-doped N+ active areas
Veröffentlicht in Materials letters
VolltextArtikel -
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Abnormal growth of LPCVD SiO 2 on CoSi 2 by high dose As implantation
Veröffentlicht in Thin solid films
VolltextArtikel -
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Effect of Gate Electrode Structure on Gate Oxide Integrity
Veröffentlicht in Electrochemical and solid-state letters
VolltextArtikel -
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