Suchergebnisse - RUFFIN, RICKY | OPAC THWS

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Verfahren zur Endpunktbestimmung einer sauerstofffreien Plasmabehandlung von SAKTHIVEL, PALANI, HAN, QUIGYAN, CARDOSO, ANDRE GIL, RUFFIN, RICKY

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Method for detecting an endpoint for an oxygen free plasma process von SAKTHIVEL, PALANI, HAN, QINGYUAN, CARDOSO, ANDRE GIL, RUFFIN, RICKY

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Method for detecting an end point for an oxygen free plasma process von SAKTHIVEL, PALANI, HAN, QUIGYAN, CARDOSO, ANDRE GIL, RUFFIN, RICKY

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4

Oxygen free plasma stripping process von Han, Qingyan, Berry, Ivan, Sakthivel, Palani, Ruffin, Ricky, Dahimene, Mahmoud

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5

Method for detecting an end point for an oxygen free plasma process von SAKTHIVEL, PALANI, HAN, QUIGYAN, CARDOSO, ANDRE GIL, RUFFIN, RICKY

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Oxygen free plasma stripping process von HAN, QINGYUAN, PALANIKUMARAN, SAKTHIVEL, BERRY III, IVAN LOUIS, DAHIMENE, MAHMOUD, RUFFIN, RICKY

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7

Oxygen free plasma stripping process von Berry, Ivan, Han, Qingyan, Sakthivel, Palani, Ruffin, Ricky, Dahimene, Mahmoud

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METHOD OF DECIDING ENDING POINT OF OXYGEN-FREE PLASMA TREATMENT AND ASHING METHOD von SAKTHIVEL PALANI, CARDOSO ANDRE G, HAN QUIGYAN, RUFFIN RICKY R

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Method for detecting an end point for an oxygen free plasma process von SAKTHIVEL, PALANI, HAN, QUIGYAN, CARDOSO, ANDRE GIL, RUFFIN, RICKY

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PLASMA STRIPPING METHOD FOR REMOVING PHOTORESIST AND RESIDUES AFTER ETCHING von HAN QINGYUAN, RUFFIN RICKY, PALANIKUMARAN SAKTHIVEL, DAHIMENE MAHMOUD, BERRY IVAN LOUIS III

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11

Strip, etch, and RTP benefit from integrated water-vapor delivery von Higgins, Donald, Cole, Brady, Tracy, John, Ruffin, Ricky

Veröffentlicht in Solid state technology

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12

METHOD FOR DETECTING AN END POINT FOR AN OXYGEN FREE PLASMA PROCESS von SAKTHIVEL PALANI, CARDOSO ANDRE G, HAN QUIGYAN, RUFFIN RICKY R

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