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1
METHOD OF MANUFACTURING DEEPLY PROFILED SILICON STRUCTURES
von
TIMOSHENKOV ALEKSEJ SERGEEVICH
,
MIRONOV SERGEJ GENNAD'EVICH
,
RAPIDOV MIKHAIL OL'GERDOVICH
,
RUBCHITS VADIM GRIGOR'EVICH
,
TIMOSHENKOV SERGEJ PETROVICH
,
SHILOV VALERIJ FEDOROVICH
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2
METHOD OF OUTER CORNER OVER-ETCHING COMPENSATION IN FIGURES ETCHED ON SILICON PLATES WITH SURFACE ORIENTATION (100)
von
LAPENKO VADIM NIKOLAEVICH
,
BRITKOV OLEG MIKHAJLOVICH
,
CHAPLYGIN JURIJ ALEKSANDROVICH
,
PLEKHANOV VJACHESLAV EVGEN'EVICH
,
RUBCHITS VADIM GRIGOR'EVICH
,
TIMOSHENKOV SERGEJ PETROVICH
,
SHILOV VALERIJ FEDOROVICH
,
BALYCHEV VLADIMIR NIKOLAEVICH
,
MOROZOVA ELENA SERGEEVNA
,
KALUGIN VIKTOR VLADIMIROVICH
,
ANCHUTIN STEPAN ALEKSANDROVICH
,
MAKSIMOV VLADIMIR NIKOLAEVICH
,
ZOTOV SERGEJ ALEKSANDROVICH
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3
METHOD FOR GAP MEASUREMENT IN MICROMECHANICAL SENSOR
von
LAPENKO VADIM NIKOLAEVICH
,
BALYCHEV VLADIMIR NIKOLAEVICH
,
MOROZOVA ELENA SERGEEVNA
,
CHAPLYGIN JURIJ ALEKSANDROVICH
,
KALUGIN VIKTOR VLADIMIROVICH
,
PLEKHANOV VJACHESLAV EVGEN'EVICH
,
ANCHUTIN STEPAN ALEKSANDROVICH
,
RUBCHITS VADIM GRIGOR'EVICH
,
TIMOSHENKOV SERGEJ PETROVICH
,
MAKSIMOV VLADIMIR NIKOLAEVICH
,
SHILOV VALERIJ FEDOROVICH
,
ZOTOV SERGEJ ALEKSANDROVICH
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4
METHOD OF MEASUREMENT OF MICROMECHANICAL TRANSMITTER SENSOR ELASTIC SUSPENSION RIGIDITY
von
BALYCHEV VLADIMIR NIKOLAEVICH
,
MOROZOVA ELENA SERGEEVNA
,
CHAPLYGIN JURIJ ALEKSANDROVICH
,
KALUGIN VIKTOR VLADIMIROVICH
,
PLEKHANOV VJACHESLAV EVGEN'EVICH
,
ANCHUTIN STEPAN ALEKSANDROVICH
,
RUBCHITS VADIM GRIGOR'EVICH
,
TIMOSHENKOV SERGEJ PETROVICH
,
MAKSIMOV VLADIMIR NIKOLAEVICH
,
SHILOV VALERIJ FEDOROVICH
,
ZOTOV SERGEJ ALEKSANDROVICH
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Patent
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5
DETECTING ELEMENT OF MICROMECHANICAL GYROSCOPE
von
KALUGIN VIKTOR VLADIMIROVICH
,
GLAZKOV OLEG NIKOLAEVICH
,
RUBCHITS VADIM GRIGOR'EVICH
,
TIMOSHENKOV SERGEJ PETROVICH
,
BYLINKIN SERGEJ FEDOROVICH
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Patent
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6
INTEGRATING MICRO-MECHANICAL VIBRATION GYROSCOPE
von
LAPENKO VADIM NIKOLAEVICH
,
KALUGIN VIKTOR VLADIMIROVICH
,
PLEKHANOV VJACHESLAV EVGEN'EVICH
,
TIKHONOV VLADIMIR ANATOL'EVICH
,
ANCHUTIN STEPAN ALEKSANDROVICH
,
RUBCHITS VADIM GRIGOR'EVICH
,
TIMOSHENKOV SERGEJ PETROVICH
,
MAKSIMOV VLADIMIR NIKOLAEVICH
,
SHILOV VALERIJ FEDOROVICH
,
ZOTOV SERGEJ ALEKSANDROVICH
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Patent
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7
MICROMECHANICAL TRANSDUCER SENSING ELEMENT
von
LAPENKO VADIM NIKOLAEVICH
,
CHAPLYGIN JURIJ ALEKSANDROVICH
,
KALUGIN VIKTOR VLADIMIROVICH
,
PLEKHANOV VJACHESLAV EVGEN'EVICH
,
TIKHONOV VLADIMIR ANATOL'EVICH
,
ANCHUTIN STEPAN ALEKSANDROVICH
,
RUBCHITS VADIM GRIGOR'EVICH
,
TIMOSHENKOV SERGEJ PETROVICH
,
MAKSIMOV VLADIMIR NIKOLAEVICH
,
SHILOV VALERIJ FEDOROVICH
,
ZOTOV SERGEJ ALEKSANDROVICH
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Patent
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8
SENSING ELEMENT OF MICROMECHANICAL ACCELEROMETER
von
KOCHURINA ELENA SERGEEVNA
,
TIMOSHENKOV ALEKSEJ SERGEEVICH
,
CHAPLYGIN JURIJ ALEKSANDROVICH
,
MIRONOV SERGEJ GENNAD'EVICH
,
KIRGIZOV SERGEJ VIKTOROVICH
,
GLAZKOV OLEG NIKOLAEVICH
,
GOLOVAN' ANTON SERGEEVICH
,
ANCHUTIN STEPAN ALEKSANDROVICH
,
RUBCHITS VADIM GRIGOR'EVICH
,
TIMOSHENKOV SERGEJ PETROVICH
,
SHILOV VALERIJ FEDOROVICH
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Patent
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9
SENSITIVE ELEMENT OF INTEGRAL ACCELEROMETRE
von
MOROZOVA ELENA SERGEEVNA
,
CHAPLYGIN JURIJ ALEKSANDROVICH
,
MIRONOV SERGEJ GENNAD'EVICH
,
RUBCHITS VADIM GRIGOR'EVICH
,
TIMOSHENKOV SERGEJ PETROVICH
,
SHILOV VALERIJ FEDOROVICH
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3 Treffer
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